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电子工业用气体 硅烷SiH4
标 准 号:
GB/T 15909-2009
替代情况:
替代 GB/T 15909-1995
发布单位:
国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:
浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-05-01
点 击 数:
更新日期:
2010年04月21日
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内容摘要
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
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安全标准
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电子工业
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硅烷
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