本文件规定了用光腔衰荡光谱法测定气体中微量水分的试验方法，包括原理、试验条件、试剂与材料、仪器设备、采样、试验步骤、试验数据处理、精密度、质量保证和控制、试验报告等内容的具体要求。
本文件适用于气体中微量及痕量水分含量的测定，测定范围：1.0×10-9（摩尔分数）～20×10-6（摩尔分数）。
本文件不适用于可损坏玻璃镜面的气体，例如氟化氢、氟气；不适用于对水的吸收光谱有干扰的气体，例如硅烷、甲烷、锗烷。