××项目安全验收评价报告模版（生产工艺及危险化学品使用安全评价单元）

　　评论：　更新日期：2008年03月07日

　　生产工艺及危险化学品使用安全评价单元

　　1　支援车间危险化学品使用、储存、安全措施情况如表5.2.1-3所示：

表5.2.1-3 危险化学品使用、储存及安全措施表

序号	储存场所名称	储存危险化学品名称	气柜数量（个）	安全设施
1	毒性气体室	砷化氢混合气（AsH₃/H₂）	1	10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。
		1.5%锗烷/氢气（GeH_4/H₂）	1
		1%磷化氢/氮气混合气（PH₃/N₂）	1
		5%磷化氢/氮气混合气（PH₃/N₂）	2
2	易燃气体室	氨气（NH₃）	8	10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
		一氧化碳（CO）	3
		二氯硅烷（SiH₂Cl₂）	1
		二氟甲烷（CH₂F₂）	1
		50ppm乙硼烷/氢气（B₂H₆/H₂）	1
		氟甲烷（CH₃F）	2
		100ppmB₂H₆/N₂	1
		5% B₂H₆/N₂	2
		100ppm乙硼烷/氢气（B₂H₆/H₂）	2
		10%氨气/氮气	1
		C₄F₆	1
3	腐蚀性气体室	Cl₂	2	10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋(ClF₃无)、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
		ClF₃	2
		HBr	2
		HCl	11
		SiF₄	1
4	氧化气体室	NF₃	9	10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
		N₂O	7
		30%O₂/He	6
5	惰性气体室	1.2%He+N₂	1	10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
		C₄F₈	2
		CHF₃	1
		C₂F₆	1
		CO₂	1
		CF₄	2
		CHF₃	2
		SF₆	2
		He	1
		4%H₂/N₂	1
6	酸室	HCl CDM	1	设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。
		BOE CDM	1
		HF CDM	2
		NOE CDM	1
		HNO₃ CDM	1
		H₃PO₄ CDM	1
		H₂SO₄ CDM	2
		HF100:1 CDM	1
7	Base Room （碱室）	NH₄OH	1	设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。
		H₂O₂	2
		SD-1	1
8	溶剂室	ACT940 CDM	1	设溶剂排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。
		EG-01	1
		EBR10A	1
		1PA-01CDM	1

　　2　危险危害辨识与分析

　　1、火灾、爆炸
　　各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损以及人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸；
　　2、腐蚀、中毒、化学灼伤
　　清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Base room、碱室、溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以及输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起严重的化学灼伤；同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、使用设备腐蚀、制造缺陷等原因造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。
　　3、物理爆炸
　　各类压力容器（包括气瓶）、管道，如果设备、管道因材质缺陷、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以及安全阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。
　　4、高温灼伤
　　高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。
　　5、激光、红外线辐射灼伤
　　在各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。
　　6、高频、噪声伤害
　　在离子植入区，使用离子植入机等高频设备；清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。
　　7、高处坠落
　　当去废溶剂储罐等相对基准面标高超过2m设备进行检查、操作或维修设备时，若未按标准设置钢梯、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检查、操作或检修时，稍不慎会发生高处坠落事故。
　　8、触电
　　各类用电设备、照明、配电系统线路保护接零未接或失效，线路绝缘损坏、线路短路等均可能发生触电事故。
　　9、电气火灾
　　电气设备、配电系统未按规定装设漏电保护器、过电压保护等装置或失效，线路绝缘损坏、短路，以及防爆场所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发生电气火灾。
　　10、雷电危害
　　建筑物防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，当雷击建筑物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波及的范围内会导致严重损坏建筑物、设备并可能危及人身安全。雷电火花还可能引发易燃易爆物质的火灾、爆炸，造成严重的生命、财产损失。
　　11、静电危害
　　如火灾、爆炸危险环境内（如：光刻、清洗区、扩散区、可燃气体储藏间等）设备、管路防静电设计或施工不规范，在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷，不能及时消除，随着时间延续，静电荷将越聚越多，静电电压逐渐升高，当达到一定程度时，发生放电火花；或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。

　　3　安全检查表
　　依据GBJ16-87《建筑设计防火规范》（2001版）、GB50187《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》、GBJ19-87《采暖通风与空气调节设计规范》（2001年版）、GB50073-2001《洁净厂房设计规范》、GB5083-99《生产设备安全卫生设计总则》、GB12801-91《生产过程安全卫生要求总则》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全标志》、GB15603-95《常用化学危险品贮存通则》、国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》等法规、标准、规范编制安全检查表，查验结果详见表5.2.3-1。

表5.2.3-1 生产工艺及危险化学品使用单元安全检查表

序号	检查项目及内容	依据法规	检查结果	备注
1	建筑结构及平面布置
1.1	生产厂房耐火等级不应低于二级。	GBJ16-87 3.2.1	√	均为二级。
1.2	若多层生产厂房耐火等级为二级，其防火分区最大允许占地面积为4000m²。（因有自动水喷淋系统，防火分区最大允许占地面积增加一倍）	GBJ16-87 3.2.1	√	占地面积4000m²。
1.3	有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）宜独立设置。	GBJ16-87 3.4.1	√	单独设置。
1.4	有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）应设置必要的泄压设施，泄压设施宜采用轻质屋顶作为泄压面积。	GBJ16-87 3.4.2	∽	硅烷室屋顶泄爆、生产车间、易燃气体室无泄压。
1.5	硅烷室泄压面积与厂房的体积比值（m²/m³）宜采用0.05～0.22，体积超过1000m³的建筑，不宜小于0.03。	GBJ16-87 3.4.3	√	约0.3。
1.6	生产车间、易燃气体室、硅烷室等可能散发可燃气体、可燃蒸气的厂房应采用不发火地面。	GBJ16-87 3.4.6	√	环氧地面。
1.7	有爆炸危险的该甲乙类厂房不应设置办公室、休息室如必须贴邻布置，应采用一、二级耐火等级建筑物并应采用耐火极限不低于3h的非燃烧体防护墙隔开并设置直通室外或疏散楼梯的安全出口。	GBJ16-87 3.4.8	√
1.8	厂房结构应满足地震烈度7度设防要求，框架抗震等级二级要求。	GB50187-93 2.0.4	√	7度设防。
1.9	芯片光刻等对洁净度要求较高的主要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风侧，并在四周留有绿化场地。	SJ30002-92 2.3.6	√
1.10	易燃易爆工作间宜设置在单层厂房内，或设在多层厂房的顶层端部。	SJ30002-92 3.6.12	×	除硅烷室单独设置外，均设在多层厂房一、二层内。
2	洁净厂房
2.1	洁净室应设置人员净化、物料净化室和设施。	GB50073-2001 4.3.1	√	分别设置人员、物料净化室。
2.2	洁净室内噪声值不应大于70db（A）。	GB50073-2001 4.4.1	√	≤65dB。
2.3	洁净实验室耐火等级不应低于二级。	GB50073-2001 5.2.1	√	二级。
2.4	洁净室的顶棚和壁板应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。	GB50073-2001 5.2.4	√
2.5	洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。	GB50073-2001 5.2.5	√	用防火墙和防火门分隔。
2.6	洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。	GB50073-2001 5.2.9	√
2.7	洁净厂区应设置事故排风，洁净室事故排风换气次数应采用10～20次/h，事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证，事故排风装置的开关应分别设在洁净室内和室外便于操作的地点，事故排风应与报警装置联锁。	SJ30002-92 7.0.10	√	设置排风系统，常开；特殊气体室室外设手动开关，设自动联锁报警。
3	作业环境及工艺、设备安全装置
3.1	作业环境
3.1.1	车间内人工运输通道宽度必须≥1.0m。	SJ30002-92 3.1.3	√	2.5m
3.1.2	设备设施之间应留有相应的操作空间、检修空间、巡回检查及安全通道。	SJ30002-92 3.1.4	√
3.1.3	洁净厂房应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应急安全出口的疏散标志。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。	SJ30002-92 7.0.14	√	设应急照明、疏散标志。
3.1.4	易燃易爆厂房的人员疏散，通道应保持畅通，并应设置应急照明，疏散指示标志及排烟措施。	SJ30002-92 3.6.13	√
3.1.5	钢梯、平台所设置的护栏的设计应符合有关标准。	GB4053.1～3-93 GB4053.4-83 第2.5.2条	×	废液收集罐处平台护栏不符要求。
3.2	电子、化学工艺安全
3.2.1	高能离子注入机应设在人流最少的区域内，并应有符合国家标准要求的接地及相应的电磁波、X射线防护措施。	SJ30002-92 3.2.3	√	设置于人流最少的东侧，采取隔离防护措施。
3.2.2	联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置，危险部位应设置醒目的警告标志；散发毒气的工序应设置排风；带电作业的工序需装设自动保护装置。	SJ30002-92 3.2.5	√	设置紧急制动，设置警告标志及排风系统，带电作业设置接地故障、短路故障保护装置。
3.2.3	使用酸、碱或有机溶剂进行清洗的设备，必须装设局部排风系统，使用有毒溶剂进行清洗的设备应采取密闭措施；凡使用电气的化学清洗设备，应有良好的接地。	SJ30002-92 3.3.1	√	均设置。
3.2.4	生产车间内应设置紧急冲淋装置及洗眼器。	SJ30002-92 3.3.6	√	设置洗眼、淋浴器。
3.2.5	对于存在激光辐射设备，应采取屏蔽等防护措施。	SJ30002-92 9.1	√	屏蔽光源保护措施。
3.3	防火、防爆、防中毒
3.3.1	输送易燃易爆介质的管道、管件、阀门、泵的连接处必须严密，管道系统应采取接地措施。	SJ30002-92 3.6.8	√	管道系统通过管架接地。
3.3.2	易燃工作间的设备、电气线路，开关、灯具等，均应采用相应等级的防爆型产品。	SJ30002-92 3.6.11	√
3.3.3	电气设备金属外壳应与PE线可靠连接。	GB50169-92 2.1.11	√
3.3.4	氢气、CO和天然气管道不能通过烟道、通风管、配电室和易燃易爆物仓库。	GB50028-93 7.2.10	√
3.3.5	管道应标志介质及流向。	SJ30002-92 2.9.2	√
3.3.6	对有害气体、易燃气体的作业区，应采取切实有效的防护措施，提高自动化，采取密闭、隔离生产。	SJ30002-92 2.4.5	√	隔离操作、密闭生产。
3.3.7	车间空气中有害物质的浓度，必须符合《工业企业设计卫生标准》的规定。	SJ30002-92 2.1.5	∽	已做监测，数据暂不能提供。
3.3.8	输送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法，必须具有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。	SJ30002-92 2.4.11	√	双套管输送，防腐内涂层。
3.3.9	危险相同的生产，宜集中或相邻布置	SJ30002-92 2.5.3	√
3.3.10	对于产生有害、有毒物质的厂房，厂房内部应采取便于清扫、刷洗以及防止毒物附着和积蓄的措施。	SJ30002-92 2.6.5	√	防泄漏收集采用二次容器，1.1倍容积。
3.3.11	车间内各种明沟，应加设盖板。	SJ30002-92 2.6.10	√
3.3.12	生产过程中工作服易污染、沾染，易经皮肤吸收的剧毒物质，洁净度要求严格的厂房和车间应设置洗衣房。	SJ30002-92 2.7.2	√	设洗衣房。
3.3.13	凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必须装设局部排风联锁。	SJ30002-92 6.3.12	√
3.3.14	有下列情况之一时，排风不应合为一个系统：混合后能引起燃烧或爆炸时；（1）混合后能引起燃烧、爆炸时；（2）易燃易爆工作间排风与一般工作间排风。	SJ30002-92 3.6.9	√	均设置独立排风。
3.3.15	氢气、煤气管道，在末端、最高点等处应设置放散管，放散管应高出屋顶；放散管上应设阻火器。	SJ30002-92 4.1.6	√
3.3.16	洁净厂房内用于硅烷等容易自燃气体的风管宜采用不锈钢管、排放含酸、碱性气体的风管应采用不燃或经过防火处理的专用塑料风管或不锈钢风管。	SJ30002-92 7.0.18	√	双层不锈钢、酸碱风管采用ATC玻璃钢涂层。
4	危险化学品的使用、输送与管理
4.1	危险化学品应按其类别、性质分类、分堆、分间储存、输送。性质相抵触的化学危险品，严禁混放在一起。	SJ30002-92 3.8.3	√	分酸、碱有毒气体室、硅烷室、易燃气体室等。支援车间分功能区。
4.2	输送危险化学品的设备、附属仪表、器材等，应根据危险介质，采用必要的防泄漏、防腐蚀措施。输送腐蚀性较强的液体管道，不应敷设在其它管道的上方，并不宜连接埋地敷设。	SJ30002-92 3.8.7	√	双层套管内设泄漏检测。
4.3	储存有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。其基础及周围地面应采取防腐蚀处理。	SJ30002-92 3.8.8	√	全封闭输送机组，多种报警联锁装置；周围设置围堰。
4.4	对于输送具有较强腐蚀性液体的化学药剂泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、阀门易喷射泄漏处，应设置适当的安全防护。	SJ30002-92 3.8.9	√	全封闭PLC程控泵组无泄漏。泵为全封闭型
4.5	输送有毒介质的设备、管道放空时，应加以收集或处理，不得任意排放。	SJ30002-92 3.8.10	√	收集并加以洗涤。
4.6	易燃、易爆的车间，应采用易于清洗、撞击或磨擦时不产生火花的地面。	SJ30002-92 3.8.11	√	硅烷室、易燃室符合要求。
4.7	有爆炸危险的房间（如硅烷室、易燃气体室、生产车间等），应设置泄压措施，安全出口不应少于2个。其中一个直接对外，不超过100m²的房间可设一个出口。	GBJ16-87 3.5.1	∽	硅烷室设泄压其余无，安全出口均不少于2个。
4.8	危险化学品使用场所应设置通讯、报警装置，并保证在任何情况下均处于正常使用状态。	危险化学品安全管理条例第18条	√	设置应急通讯、自动、手动报警装置。
4.9	应在危险化学品作业场所设置急救设施，并提供应急处理的方法。	工作场所安全使用化学品规定第17条	√	设置应急用品柜，提供处理方法。
4.10	使用单位应对盛装、贮存危险化学品的设备，采用颜色、标牌、标签等形式，标明其危险性。	工作场所安全使用化学品规定第19条	√	储存柜上均有标识。
4.11	丙酮、双氧水等氧化剂不得在操作岗位附近混合贮存，氧化剂应单独存放。	GB15603-1995 6.7	√	单独存放。
4.12	废弃、过期的化学危险品及使用过的包装容器必须妥善保管，不得随意抛弃，依据危险废弃物的处置标准进行处置。	关于加强化学危险物品管理的通知	√
4.13	使用危险化学品，在天津市有关主管部门办理了登记手续，并取得使用许可证。	市安监局、市经委相关文件要求	∽	正申办。
4.14	有关领导和从业人员必须接受法律、法规、规章和安全betway必威官方网站、专业技术的培训，经考核合格，方可上岗作业。	《危险化学品安全管理条例》第四条	∽	已组织，尚未培训。
5	有毒气体控制装置
5.1	砷烷、氯气、氨等有毒、易燃、易爆气体的钢瓶柜，离子刻蚀设备、离子注入机等使用有害气体的作业点，应设事故排风装置。	SJ30002-92 6.3.16 6.3.23	√
5.2	使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作间，宜设报警装置及事故排风。报警装置宜与生产设备、操作阀联锁，不工作，亦应定时进行排风。	SJ30002-92 6.2.9	√	设置报警联锁装置及事故排风。
6	电气
6.1	电气装置采用接地故障保护时，应做总等电位联接。	SJ30002-92 12.2.4	√	等电位连接。
6.2	检测和控制仪表的电源和气源，停电或停气可能使生产、动力设备造成重大事故时，必须有备用电、气源。备用时应根据工艺、动力要求确定，一般不小于15-30分钟。	SJ30002-92 12.2.8	√	设发电机3台，压缩空气备用气源≥30min。
6.3	停电或停气时，调节阀的阀位应处于安全位置。	SJ30002-92 12.2.9	√
6.4	消防设施、防烟排烟系统、电动防火门窗、火灾应急照明、消防用电设备，应采用单独的供电回路，并当发生火灾切断生产、生活用电时，应仍保证消防用电。其配电设备应有明显标志。	SJ30002-92 12.2.10	√	单独设置供电回路，UPS、EPS、SP电源，
6.5	在有爆炸危险环境内，敷设电气线路的沟道、电缆或钢管，在穿越不同区域之间隔墙或楼板处的孔洞，应采用非燃性材料严密堵塞。	SJ30002-92 12.2.16	√	防火水泥堵塞。
6.6	电气设备线路必须安全可靠,照明应采用有防护罩的灯具。	SJ30002-92 3.2.7	√	线路穿管敷设，灯具有防护罩。
6.7	在火灾、爆炸危险环境内，可能产生静电危害的设备、管道应采取静电接地措施。	SJ30002-92 12.5.4	√	设备、管道均采取静电接地措施。
6.8	在重点防火、防爆作业区的入口处，应设计人体导除静电装置；并配备个人防静电防护用品。	HG20571-95 3.2.10	√	设消除静电离子发生器。
7	消防、报警设施
7.1	建筑灭火器的配置应按《建筑灭火器配置设计规范》的有关规定执行。	GBJ16-87 8.7.7	√
7.2	洁净室及技术夹层应设置自动灭火系统。	SJ30002-92 7.0.11	√
7.3	生产厂房应设置火灾自动报警检测系统。	SJ30002-92 7.0.15 GB12801-91 6.3.1	√
7.4	储存、使用易燃易爆物质的生产区、硅烷室、易燃气体室等应设置可燃气体监测报警装置、事故排风及防爆设施。	GBJ16-87 10.3.2 SJ30002-92 3.6.2	√	设作业环境监测报警系统。
7.5	洁净厂房、有毒、易燃气瓶间等可能散发可燃、可爆和有毒、有害气体的场所应设置各种可燃、有毒、有害气体检漏报警装置。	SJ30002-92 12.6.3	√	设置不同类型报警装置。
8	气瓶安全使用
8.1	使用气瓶应：采购和使用有制造许可证的企业的合格产品，不使用超期未检的气瓶。必须到已办理充装注册的单位或经销注册的单位购气。气瓶使用前应进行安全状况检查，对盛装气体进行确认。气瓶放置地点不得靠近热源和明火，应保证气瓶干燥。气瓶立放时，应采取防止倾倒的措施；夏季应防止爆晒；严禁敲击、碰撞；严禁在气瓶上进行电焊引弧；瓶内气体不得用尽，必须留有剩余压力或重量，氢气瓶剩余压力应不小于0.05Mpa。	气瓶安全监察规程第79条	√	各项措施齐备，剩余压力小于0.05Mpa自动切换。
8.2	磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆气体钢瓶，必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。不工作时，应有自动定时排风系统。	SJ30002-92 6.2.8	√	长期通风。
9	安全标志
9.1	凡容易发生事故危及安全的场所，应设置安全标志，必要处尚应设置声、光、色或声、光结合的紧急警告信号。	SJ30002-92 2.9.1	√	机台、气柜等均设置安全标志。
9.2	厂房、动力站房的安全出口及疏散通道，应设置明显的标志。	SJ30002-92 2.9.3	√
9.3	安全标志的涂色，应符合国家现行《安全标志》及《安全色》标准的规定。	GB2893-82 GB2894-1996	√
9.4	工业管路基本识别色应符合：绿色：水铝色：蒸气棕色：易燃液体黄褐色：气态或液态气体（空气、氧气除外）紫色：酸或碱浅蓝色：空气或氧气黑色：其它液体。	GB7231-87	∽	未完全执行本国标。

　　4　危险源综合分析与评价

　　1、单元的主要危险因素
　　SMIC中芯国际集成电路制造有限公司集成电路生产工艺复杂，同时使用多种易燃、易爆、有毒化学试剂和易燃、有毒气体，按照GBJ16-87“生产的火灾危险性分类”为甲类，因此火灾、爆炸、中毒是本单元的主要危险因素，其次是腐蚀灼伤、物理爆炸、高频噪声伤害、静电危害等。
　　2、已采取的主要安全技术、管理措施
　　针对上述危险有害因素，为了确保生产工艺及支援车间的安全运行，企业已采取的安全技术措施主要有：
　　1）洁净厂房、各类溶剂室、气体室等建筑结构、耐火等级符合国家相关规范要求；
　　2）洁净室在产生有害气体工作区设置局部排风，同时设置火灾自动报警装置、火灾排烟系统及应急照明；
　　3）将腐蚀性、易燃、有毒、惰性气体分别设置在独立的房间内，硅烷单独设置在独立的建筑物内；
　　4）所有易燃、有毒、腐蚀性气体盛装钢瓶均安装在特制的气柜内，气柜带有阀门盒和阀门屏，气柜内配备自动的氮气净化系统。
　　5）有害气体在气柜、阀门盒、工艺设备和有毒气体排放口设监测点，所有探头具有高敏度报警功能；
　　6）酸、碱、有机溶剂采用高纯氮气充填容器，利用双层管道输送至使用点，在双层管道内设监测报警探头，所有化学品盛装容器、使用点均设置局部排风系统；
　　7）在危险化学品生产、储存场所设置洗眼器及安全淋浴装置；
　　8）本单元消防、报警、联锁装置的设置基本符合国家标准要求。
　　3、问题与建议
　　为了保证系统能够安全运行，厂方采取了一些安全措施，基本能够实现安全生产。通过对作业现场安全现状考察与分析，还存在一些不符合规定的安全问题，具体问题和建议如下：
　　1) 因洁净室生产厂房、易燃气体室未设置泄压设施，并且未按SJ30002-92标准设置在多层厂房顶层，因此需采取有效措施，保障各类防火、防爆、排风系统等安全装置、设施的齐备、完好及有效性。
　　2) 废液收集罐上的平台护栏需按标准要求修复；
　　3) 应按GB7231-87相关要求对工业管路涂敷基本识别色。

　　5　验收评价结论

　　SMIC中芯国际集成电路制造有限公司集成电路生产工艺单元主要危险因素是各类可燃气体、易燃液体以及有毒物料泄漏引发火灾、爆炸、中毒。洁净生产车间、支援车间设计、施工以及各类危险化学品安全使用、储存情况基本符合标准、规范和安全生产要求；项目本质安全程度较高，各项安全装置基本齐全、有效。只要在生产过程中严格执行各项安全生产管理制度和安全操作规程，可以实现安全生产。