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本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试验方法,提供了六氟化硫的安全信息。 本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。