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电子气体 六氟化硫

标 准 号: GB/T 18867-2025
替代情况: 替代 GB/T 18867-2014
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 南大光电(淄博)有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司等
发布日期: 2025-04-25
实施日期: 2025-11-01
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更新日期: 2025年07月26日
内容摘要

本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试验方法,提供了六氟化硫的安全信息。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。

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