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微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

标 准 号： GB/T 43748-2024
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：
发布日期： 2024-03-15
实施日期： 2024-10-01
点 击 数：
更新日期： 2024年04月29日
下载地址：点击这里 5.98 MB
下载点数：30点（VIP会员免费）
内容摘要

本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜(TEM/STEM)测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。

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